TSI MSP 2200-01-5002 Стандарт загрязнения прицельной сетки Dev-Dep Development

Стандарты загрязнения пластин состоят из частиц, нанесенных на пластину (размером от 100 мм до 450 мм) с лучшим в отрасли контролем размера и количества частиц. Эти сертифицированные стандарты для инструментов контроля пластин полностью адаптированы для каждого клиента.

Определите характеристики и оптимизируйте чувствительность и общую производительность вашей системы контроля / метрологии пластин с помощью Dev-Dep ™ Development Wafer Contamination Standards от MSP, подразделения TSI. Эти высококачественные стандарты загрязнения пластин разработаны в соответствии с вашими спецификациями с быстрой обработкой, что позволяет сократить циклы обучения во время разработки инструментов и процессов.

Частицы размером менее 1,6 мкм (1600 нм) осаждаются с помощью передовой технологии генерации частиц и технологии прямого доступа к памяти в системах осаждения частиц MSP, разработанных для лучшего в своем классе осаждения микрочастиц и наночастиц. Модальный диаметр осаждаемых наночастиц контролируется с точностью до нанометра и разрешением субнанометра. Частицы размером от 1,6 до 20 мкм осаждаются с помощью недавно разработанной технологии генерации крупных частиц.

Частицы могут быть нанесены в виде точечных и полных (сплошных) шаблонов со стандартной обработкой. Доступны образцы дуги и кольца с нестандартной обработкой.

MSP имеет запасы кремниевых (Si) пластин размером 200 и 300 мм, а также может предоставить стеклянные пластины и сапфировые пластины в соответствии с техническими требованиями заказчика. Клиенты также могут предоставить пластины по своему выбору (голые, пленочные, с рисунком) для напыления. Можно обрабатывать вафли размером от 100 мм до 450 мм.

Преимущества

• Полностью индивидуальное решение, основанное на требованиях заказчика Удовлетворяет уникальным / сложным требованиям Консультация по применению
• Быстрый переход для более быстрого обучения
• Широчайший доступный диапазон материалов и размеров частиц
• Доступно более 100 стандартов размера частиц
• Настраиваемые схемы и места осаждения
• Контроль размера частиц с точностью до нанометра для наночастиц
• Постоянный размер частиц с субнанометровым разрешением для наночастиц
• Количество частиц от 100 до миллионов на депозит
• Тройная упаковка для транспортировки с малым сумматором

Характеристики MSP 2200-01-5002

• MSP проверяет непокрытые кремниевые контрольные пластины размером 200 или 300 мм